隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。
ADIXEN真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。真空泵除主要特性，極限壓力，流量和抽氣速率之外，尚有一些名詞術(shù)語表達(dá)泵的有關(guān)性能和參數(shù)。
1、啟動(dòng)壓力：泵無損壞啟動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓力。
2、前級(jí)壓力：排氣壓力低于101325Pa的真空泵的出口壓力。
3、最大前級(jí)壓力：超過它能使泵損壞的前級(jí)壓力。
4、最大工作壓力：對(duì)應(yīng)最大流量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
5、壓縮比：泵對(duì)給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。
6、何氏系數(shù)：泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽氣速率與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽氣速率之比。
7、抽氣系數(shù)：泵的實(shí)際抽氣速率與泵入口面積按分子瀉流計(jì)算的理論抽氣速率之比。
8、返流率：泵在規(guī)定條件下工作時(shí)，與抽氣方向相反而通過泵入口的單位面積、單位時(shí)間的泵液的質(zhì)量流率。
9、水蒸氣允許量(單位:kg/h)：在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣的質(zhì)量流率。
10、最大允許水蒸氣入口壓力：在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)所能抽除的水蒸氣的最高入口壓力。
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