在系統中做主泵所謂主泵就是對真空系統被抽容器直接進行抽真空，以獲得滿足工藝要求所需真空度的真空泵。粗抽泵粗抽泵是指從大氣壓開始降低真空系統壓強達到另一抽氣系統可以開始工作的真空泵。前級泵前級泵是指用于使另一個泵的前級壓強維持在其高許可的前級壓強以下的真空泵。維持泵維持泵是指當真空系統抽氣很小時，不能有效的利用主要前級泵。為此，在真空系統中另配一種抽氣速度較小的輔助前級泵來維持主泵的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓的真空泵。粗真空泵或低真空泵粗、低真空泵是指從大氣開始，降低被抽容器的壓強后工作在低真空或粗真空壓強范圍內的真空泵。高真空泵高真空泵是指在高真空范圍工作的真空泵。超高真空泵超高真空泵是指在超高真空范圍工作的真空泵。